效 率：對0.12um

粒子捕集效率達99.999%以上（計數法）

特 點：高效率、低阻力
、運行成本低

用 途：ULSI製造工廠
、半導體製造工廠、超淨實驗室
、研究室等

框　　材：鋁型材

密 封 膠：聚胺脂膠

分 隔 物：熱熔膠

濾　　料：玻纖濾紙

運行條件：

使用最高溫度：80℃

使用最高濕度：100% 密

封 條：氯丁橡膠